微流控芯片流量傳感器是利用熱力學原理對流道中的氣體介質進行流量檢測，具有很好的精度與重復性。采用新一代MEMS傳感器芯片技術，內(nèi)置有溫度傳感器，每只都進行專有的溫度補償校準，同時具有線性模擬電壓輸出，使用方便。流量傳感器還被廣泛應用于工業(yè)過程控制、空氣和環(huán)境保護、便攜式儀器等領域，在工業(yè)生產(chǎn)、科學實驗、產(chǎn)品質量把控、生產(chǎn)效率提高、能源節(jié)約等方面發(fā)揮著重要作用。
 

　　

　　微流控芯片流量傳感器將測量到的實際值饋送到電子控制部分與面板設置值比較，利用兩者間的誤差控制伺服閥門來調(diào)節(jié)吸入和呼出氣體流量；安裝在吸氣系統(tǒng)前端的空氣和氧氣流量傳感器生成的信號能幫助微處理器對閥門進行控制，以提供所需要的氧濃度；流速和流量的檢測值還直接影響到呼氣與吸氣時的切換、分鐘通氣量上下限的報警、流量觸發(fā)靈敏度、氣流實時波形和P－V－環(huán)的監(jiān)測顯示等等，可見，流量傳感器性能的好壞直接影響到呼吸機參數(shù)的準確性和可靠性。微流體流量傳感器為熱差式傳感器，通過接觸方式測量各種液體的流速。

　　

　　微流控芯片流量傳感器用于準確測量微流控裝置中的流量，實現(xiàn)雙向流速測量（正向和反向），具有高化學兼容性。我們壓力控制器系統(tǒng)（OB1MK3+多通道壓力真空控制器，AF1單通道壓力泵）都可以與微流體流量傳感器結合，用于直接監(jiān)測和控制流量。流量測量范圍：0.07μl/min?40,000μl/min響應時間：<40ms誤差：<測量值5%兼容水和各種有機溶劑，雙向測量流速。